Оператор по нарощуванню эпитаксиальных шарів

3-й розряд Характеристика робіт. Ведення процесу нарощування эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних, металевих шарів з визначеними параметрами на установках эпитаксиального нарощування. Підготовка устаткування до роботи, перевірка устаткування на герметичність, завантаження і розвантаження підкладок. Контроль і коректування режиму процесу нарощування. Перевірка якості застосовуваних підкладок, матеріалів. Ведення процесу газового травлення. Завмер температури оптичним пірометром. Заправлення випарників SіCl4. Зняття й установка кварцового оснащення на устаткуванні різних типів. Проведення профілактики газової системи. Заміна балонів. Повинний знати: пристрій найважливіших частин, принцип дії установок эпитаксиального нарощування і контрольно - вимірювальних приладів ; властивості хімікатів, застосовуваних для нарощування эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних і металевих шарів; реакції, що відбуваються на поверхні підкладки в процесі нарощування; вплив домішок на якість эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних і металевих шарів; способи градуювання ротаметрів; методи виміру і регулювання температури процесу нарощування випарників, охолодження реактора; правила роботи з балонами, магістральними газами і газовими сумішами. Приклади робіт Эпитаксиальные, полікристалічні, діелектричні, металеві шари - нарощування одношарових структур. 4-й розряд Характеристика робіт. Ведення процесу нарощування эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних і металевих шарів усіх типів. Коректування процесу нарощування за результатами контрольного процесу. Розрахунок швидкості нарощування эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних і металевих шарів. Розрахунок концентрації легуючої домішки . Карбидизация графітових нагрівачів (п'єдесталів). Готування розчинів SіCl4 з визначеною концентрацією легуючої домішки. Визначення несправностей в установках . Повинний знати: пристрій і способи підналагодження устаткування різних типів; методи нарощування эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних, металевих шарів і їхньої властивості; властивості напівпровідникових матеріалів; властивості газів; методи виміру основних электрофизических і структурних параметрів эпитаксиальных, полікристалічних, діелектричних і металевих структур; пристрій , призначення й умови застосування приладів для контролю процесу, системи газорозподілу і водяного охолодження; вплив концентрації легуючої домішки на параметри эпитаксиальных структур, полікристалічних, діелектричних і металевих шарів; основи електротехніки в межах виконуваної роботи. Приклади робіт Эпитаксиальные, полікристалічні, діелектричні і металеві шари - нарощування структур зі схованими шарами. 5-й розряд Характеристика робіт. Ведення процесів нарощування багатошарових эпитаксиальных структур, діелектричних шарів. Нарощування надтонких полікристалічних, діелектричних, металевих шарів. Устра

Джерело: ЕДИНЫЙ ТАРИФНО - КВАЛИФИКАЦИОННЫЙ СПРАВОЧНИК РАБОТ И ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ ВЫПУСК 20. Приложение к Постановлению Минтруда России от 21 января 2000 г. N 5