Оператор плазмохимических процесів

4-й розряд Характеристика робіт. Ведення процесу травлення напівпровідникових матеріалів, зняття фоторезисту, висаджування двоокису кремнію на різних типах плазмохимического устаткування. Ионно - плазменное нанесення плівок Fe2O3. Завантаження і вивантаження пластин кремнію, склопластик, жидкокристаллических індикаторів. Визначення несправностей у роботі установок і вживання заходів по їхньому усуненню . Коректування режимів плазмохимической обробки по контрольних вимірах. Реєстрація і підтримка режимів плазмохимической обробки за допомогою контрольно - вимірювальної апаратури. Контроль товщини нанесеної плівки, завмер лінійних розмірів елементів мікросхем за допомогою мікроскопа. Визначення якості обробки пластин за допомогою мікроскопа і вимірювальних приладів . Повинний знати: пристрій плазмохимических установок різних моделей, принцип їхньої дії; кінематику, електричні і вакуумні схеми; правила настроювання на точність устаткування, що обслуговується, пристрій , призначення і застосування контрольно - вимірювальних приладів і інструментів; призначення процесу відкачки і роль плазмообразующих середовищ у процесі обробки пластин; способи і методи контролю ступеня вакууму; основні властивості і характеристики плазмообразующих середовищ ; основи процесу плазмохимического травлення; оцінку стійкості фоторезистивных масок до впливу газорозрядної плазми; основні закони електротехніки і вакуумної техніки. Приклади робіт 1. Кремнієві пластини - плазмохимическое висаджування Sі2 шляхом розкладання і взаємодії моносилана з киснем у плазмі високочастотного розряду, визначення товщини плівки Sі2 після нанесення по таблицях кольоровості. 2. Мезо - структури з фоторезистом - ионно - плазменное напилювання діелектричних плівок. 3. Пластини - видалення фоторезисту на плазмохимических установках . 4. Пластини кремнію - плазмохимическое травлення двоокису кремнію, що лежить на алюмінії. 5. Стеклопластины - ионно - плазменное нанесення Fe2O3. Індикатори жидкокристаллические - видалення поліаміду на плазмохимических установках . 5-й розряд Характеристика робіт. Ведення процесу плазмохимической очищення пластин і матеріалів, нанесення двуокисных плівок на різних типах плазмохимического устаткування. Нанесення антиемісійних і емісійних покрить ионно - плазменным або плазмо - дуговим методом. Напилювання молібдену, алюмінію ионно - плазменным методом. Підготовка і настроювання устаткування на заданий режим роботи. Узгодження навантажень генератора високої частоти. Виявлення причин несправностей у вакуумних системах. Виявлення причин відхилення швидкості плазмохимической обробки від заданої і їхнє усунення. Коректування режимів проведення процесу за результатами контрольних вимірів. Контроль товщини мікрошарів після обробки на мікроінтерферометрах різних типів. Повинний знати: системи подачі і натекания газів; основні процеси, що відбуваються при дисоціації в плазмі молекул хімічно активних робочих газів; основи плазмохимического осадження; властивості плівок, подв

Джерело: ЕДИНЫЙ ТАРИФНО - КВАЛИФИКАЦИОННЫЙ СПРАВОЧНИК РАБОТ И ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ ВЫПУСК 20. Приложение к Постановлению Минтруда России от 21 января 2000 г. N 5